Spectromètre quadripolaire AKONIS

IMSde processpour l'industrie des semi-conducteurs

SIMS entièrement automatisé pour la fabrication de semi-conducteurs en grande quantité L'outil AKONIS SIMS comble une lacune critique dans les processus de fabrication des semi-conducteurs en fournissant un débit élevé, une détection de haute précision pour les profils d'implant, l'analyse de la composition et les données interfaciales afin de permettre la fabrication en grande quantité. AKONIS offre un très haut niveau d'automatisation afin de garantir la répétabilité entre les outils pour le contrôle du processus au niveau de la fabrication et la correspondance entre les outils. Complétant l'IMS Wf/SC Ultra ainsi que le SIMS 4550 (SIMS quadripolaire) utilisé par les laboratoires de caractérisation de l'industrie des semi-conducteurs, AKONIS - avec l'automatisation complète des routines de configuration et d'acquisition de l'instrument - permet une analyse rapide au sein de l'usine sans compromis sur la sensibilité analytique. AKONIS bénéficie du développement récent de la technologie de colonne ionique EXtremely Low Impact Energy (EXLIE) (< 150 eV), couplée à un système complet de manipulation des plaquettes comprenant une platine haute résolution permettant des mesures sur des plaquettes jusqu'à 20 μm. L'outil de rendement élevé pour le N5 et au-delà Composition haute résolution et profilage rapide de la profondeur des dopants dans les empilements multicouches SiGe et SiP Limites de détection inégalées dans les tampons jusqu'à 20 μm Réduction de plus de 97 % du temps nécessaire pour transmettre les données à la ligne de production Mesure de plaquettes entières avec ou sans motif Moteur de reconnaissance des motifs couplé à une platine interférométrique haute résolution pour une précision de position < 2 μm Création intuitive de recettes à partir d'une base de données de matériaux unique Certifié SEMI (S2/S8, E4, E5, E39, E84...) Faible coût de possession