Machine de dépôt PECVD DynaLine

par pulvérisation cathodique à magnétronde film métallisésous vide

Le DynaLine par Leybold Optics est une machine intégrée modulaire entièrement automatisée de pulvérisation avec la productivité la plus élevée pour l'industrie automotrice. En raison de son concept modulaire, la machine peut être intégrée dans les systèmes de convoyeur entièrement automatisés et être adaptée aux besoins du client aux configurations spécifiques. Des substrats sont chargés sur un porteur et sont plus tard traités par l'intermédiaire des procédés statiques de dépôt. Les systèmes de pompage à haute efficacité, une commande robuste de porteur et les systèmes précis de serrure de vide sont d'autres dispositifs de cette machine. Grâce élevée de productivité au porteur intégration-capable de substrat - Le DynaLine offre la productivité supérieure pour l'industrie automotrice, rendue possible par une configuration de substrat-porteur qui peut être intégrée dans un système de convoyeur entièrement automatisé. Grâce flexible de configuration de système au concept modulaire - Le DynaLine est conçu avec un concept modulaire pour la configuration flexible. Cette conception particulière permet à des utilisateurs d'augmenter sans effort le système avec les chambres additionnelles. L'intégration d'une chambre de nouveau processus est possible même après une période de plusieurs années. La technologie avancée de dépôt offre l'excellente flexibilité d'enduit - Le magnétron pulvérisent le dépôt avec interpolent la cible (IPT) pour le dépôt de haut-taux des métaux et la déposition en phase vapeur plasma-augmentée avancée de la fréquence médiane (MF) (PECVD) pour le dépôt de la forme de manteau de siloxane l'épine dorsale du système, offrant une série de possibilités d'enduit.