Machine de dépôt PECVD PylonMet

par pulvérisation cathodique à magnétronde film métallisésous vide

Le systeme optique PylonMet de Leybold est un système en lots de pulvérisation de magnétron de haut-sortie flexible et souple pour l'enduit de pièces tridimensionnelles. Le concept de machine permet une configuration flexible et un déploiement souple dans une large étendue des applications. Ceci inclut réactif et le magnétron non-réactif pulvérisent le dépôt avec interpolent les cibles (IPT). La source plasma-augmentée avancée de la déposition en phase vapeur de la fréquence médiane (MF) (PECVD) permet le dépôt des manteaux transparents et augmenté essuyer-résistez aux couches. Le système de pompage efficace de vide, y compris un efficace cryo-lovent le système et un système flexible de processus-gaz-gestion, sont d'autres éléments clé. Configuration flexible pour l'excellente polyvalence d'enduit - La configuration flexible du PylonMet le rend approprié pour l'usage avec une série de matériaux de pulvérisation, y compris l'aluminium, le chrome, l'acier inoxydable, le cuivre, l'argent et beaucoup d'autres. Elle produit différentes couleurs sur deux et parties tridimensionnelles dans la production de 2$4$ heures. Le de plus haut niveau de la répétabilité assure à qualité conformée. Grâce élevée de productivité et de fiabilité au pivot-type entrée principale et facile d'accès - Le pivot-type entrée principale permet le traitement et le chargement fortement productifs/déchargeant des ordres. Des substrats sont chargés à un pylône de facile-à-accès, ou sur option, à un système de planétaire-substrat-montage. L'option automatique de chargement et de déchargement est un facteur clé dans la fiabilité élevée du système.