Machine de dépôt PECVD DLC

pour revêtement de carbone diamantsous videpour l'optoélectronique

LEYBOLD OPTICS DLC est un système de dépôt chimique en phase vapeur sous vide poussé par plasma (PECVD) pour l'application de revêtements antireflet (AR) principalement utilisés dans les applications infrarouges (IR) pour les systèmes d'imagerie thermique. Les leaders de l'industrie utilisent les équipements LEYBOLD OPTICS DLC pour protéger les équipements optiques des dommages grâce aux revêtements optiques extrêmement durs et résistants à l'environnement qui sont appliqués sur les substrats de cette machine. La conception du système permet d'obtenir des surfaces de couche extrêmement dures Le système LEYBOLD OPTICS DLC est conçu pour la production de couches de carbone dur (DLC) de type diamant pour des applications antireflet IR sur des substrats en germanium (Ge) et silicium (Si) Les couches DLC extrêmement dures protègent les surfaces optiques exposées et augmentent la transmission infrarouge. L'uniformité de la couche permet une utilisation pour des applications à faible luminosité Sur la base de la conception de la douche à gaz, les gaz de processus sont répartis de manière extraordinairement uniforme dans la chambre de traitement. Ainsi, la croissance du film de couche sur le substrat est extrêmement précise, ce qui est la clé pour les applications à faible luminosité telles que les dispositifs de vision nocturne, les capteurs pour le contrôle de distance ou d'autres applications où la lumière dans la longueur d'onde IR est utilisée. Système de surveillance optique in-situ offrant une grande précision Les précisions requises sur l'épaisseur de la couche et la répétabilité du revêtement rendent indispensable le contrôle constant de la croissance des films optiques DLC pendant le processus de revêtement.