Machine de dépôt PVD SYRUSpro series

assisté par faisceau d'ionsde couches mincespour l'optoélectronique

La série SYRUSpro de Bühler Leybold Optics est une plate-forme leader de l'industrie dans la production en série avec une grande précision et un rendement élevé de revêtements optiques pour l'optique de précision. Les enducteurs SYRUSpro sont idéaux pour des applications allant de l'ultraviolet profond (DUV) au spectre visible (VIS) en passant par l'infrarouge (IR). La variété de revêtements couvre les filtres de bord (court et long passage), les filtres coupe UV-IR, les filtres coupe-bande, les filtres coupe-bande et les filtres passe-bande étroits, les filtres couleur dichroïques et les séparateurs de faisceau de polarisation, les revêtements AR et HR pour lasers et beaucoup plus. Chaque SYRUSpro est équipé selon les besoins du client d'un grand nombre de composants exclusifs et standardisés Bühler Leybold Optics. Cela permet une mise à jour simple pour répondre aux exigences croissantes du processus. De plus, le système de contrôle de processus de Bühler Leybold Optics allie une grande flexibilité de programmation à un niveau d'automatisation maximal. Tous ces attributs se combinent pour fournir des chiffres très précis, à haut rendement et à haut débit pour la production ininterrompue de filtres optiques en volume 24h/24 et 7j/7. Différentes tailles de chambre pour une flexibilité maximale Les enducteurs SYRUSpro sont disponibles en huit tailles de chambre différentes avec des diamètres intérieurs compris entre 710 mm et 2810 mm. Cela signifie que nous pouvons offrir une chambre correspondante pour s'adapter parfaitement aux capacités de charge et aux dimensions des substrats définies par nos clients. Par exemple, nos chambres de 1950 mm ou 2810 mm sont des plates-formes idéales pour les substrats de dimensions extrêmes.