Machine de dépôt PECVD DynaJet

PVDpar pulvérisation cathodiquede film métallisé

Le DynaJet est le plus nouveau membre de la famille de Dyna de métalliser des systèmes. Ce système de pulvérisation en lots combine le meilleur de toute l'expertise physique Bühler du dépôt en phase vapeur (PVD) doit offrir. Les cathodes rotatives fournissent une nouvelle dimension dans la productivité. L'utilisation élevée de cible offre plus peu coûteux de la propriété due à une longue vie de cible. Le système de pompe turbomolecular (TMP) a besoin seulement d'une fraction de l'énergie électrique et de l'eau de refroidissement exigées par les systèmes conventionnels. Tout ceci a comme conséquence une réduction significative de coûts annuels de propriété. Longue vie et grâce rapide d'échange de cible à la conception innovatrice - La nouvelle conception de cible offre une utilisation de cible de 70- 80 % par rapport à la version préalable, qui a offert l'utilisation juste de 25 %. En plus, la conception rotative de cathode peut augmenter la vie de cible pas moins de quatre fois. Les processus augmentés fournissent le revêtement ultra-rapide et la meilleure homogénéité de PVD - La longue cathode rotative et la garantie optimisée de cryo-bobine la meilleure homogénéité de PVD. Un semi-transparent pulvérise la couche est une autre application possible. La gestion optimisée d'arc de Bühler assure un processus stable de pulvérisation. Nouveautés dans le procédé plasma-augmenté de la déposition en phase vapeur (PECVD) permettre le dessus-revêtement ultra-rapide. Un autre élément clé est le système de pompage à trois étages efficace de pré-vide. Le nouveau système de pompe offre l'excellent rendement énergétique - La consommation d'énergie moyenne est un aspect important de coût de propriété. Le nouveau système de pompe du DynaJet avec TMP sauve 800000 kW/h pendant 10 années par rapport à d'autres machines sur le marché.