Machine de dépôt par pulvérisation cathodique à magnétron STARpro

de couches mincessous videpour l'optoélectronique

STARpro des systemes optique de Bühler Leybold est un nouveau magnétron simple réactif pulvérisent le procédé de protection consacré aux applications de systeme optique de précision. Il est très facile installer et utiliser le système. D'ailleurs, STARpro réalise tache-sur l'exactitude et la reproductibilité élevée durant toute la vie entière de cible par l'exécution d'OMS 5100 de SYSTEME OPTIQUE optique de la meilleure qualité du système de mesure des systemes optique de Bühler Leybold LEYBOLD. Conception compacte superbe d'économie de l'espace Avec la plus petite empreinte de pas dans notre brochure de produit, STARpro peut être placé même dans des places. Ceci lui fait un ajustement parfait pour les plus petits environnements de laboratoire, particulièrement en combination avec une grande variété de processus possibles d'enduit. Dispositifs de processus configurables pour la diversité impressionnante de produit Par l'utilisation des multi-couches SiO2 et Si3N4, des produits s'étendant des enduits anti-r3fléchissants aux filtres passe-bande, aux filtres de bord, aux miroirs diélectriques et aux filtres dichroïques peuvent être fabriqués. Une serrure de charge qui est séparé de la chambre de processus s'assure que les substrats ne seront pas souillés par des particules. Avec un maximum de quatre substrats à enduire en parallèle, le STARpro est le choix parfait pour le prototypage rapide de couche et la production de filtre optique de petit-groupe. Grâce fortement précise de reproductibilité à un système de mesure optique in-situ L'OMS 5100 de SYSTEME OPTIQUE optique in-situ de la meilleure qualité du système de mesure LEYBOLD s'assure que la pile conçue de couche est avec précision réalisée à tout moment. Un téléchargement rapide de la conception théorique de couche en combination avec le SYSTEME OPTIQUE « SimuOMS5000 » de l'outil logiciel de systeme optique de Bühler Leybold LEYBOLD permet pour réaliser l'exécution optique calculée avec le premier projectile sur le STARpro.