Machine de dépôt PVD HELIOS series

par pulvérisation cathodique à magnétronde couches mincespour l'optoélectronique

La série d'Hélios des systemes optique de Bühler Leybold est un enduit en couche mince rapide, précis et entièrement automatisé flexible de plate-forme pour. Elle est conçue et particulièrement machinée pour les enduits optiques de haute qualité comportant des conceptions sophistiquées de filtre à réaliser avec le rendement élevé et la sortie élevée. Les couches extrêmement denses, douces, stoechiométriques et amorphes assurent l'exécution optique inégalée. Le système de surveillance optique pour des mesures in-situ de sur-substrat facilite la précision finale dans la commande d'épaisseur de couche. Qualité exceptionnelle de productivité et de couche La technologie du dernier cri du magnétron réactif plasma-aidé pulvérisant (PARMS) permet le dépôt des enduits diélectriques des cibles en métal, aidé par une source de plasma de la radiofréquence (rf) avec un taux de dépôt élevé pour la productivité élevée qui a comme conséquence les produits supérieurs de catégorie avec la haute précision à la balance atomique et le rendement élevé. Pendant chaque rotation, une couche secondaire-stoechiométrique mince d'oxyde est déposée par le magnétron duel choisi et transférée à une couche de non-absorption d'oxyde tout en passant le plasma de l'oxygène de la source de rf. Cette méthode assure les plus basses pertes et les résultats parfaits de stoechiométrie - même lorsque pulvérisant des cibles en métal. La surveillance optique facilite la stabilité élevée de production La surveillance optique in-situ de sur-substrat direct est exécutée sur un mode intermittent utilisant un verre d'essai à une des positions de substrat dans la plaque tournante tournante. Ceci a comme conséquence la stabilité de production et la répétabilité extrêmement élevées de l'enduit. La plaque tournante tournante rapide permet la production très des couches minces de quelques nanomètres et le de grande précision.