Analyseur d'oxygène interstitiel SiBrickScan (SBS) Silicon Ingot Analyzer

de concentrationpour lingot de silicium

SiBrickScan (SBS) est un système At-line consacré par la quantification par FTIR de l'oxygène interstitiel en lingots complets de silicium, ayant pour résultat un profil précis de concentration le long de l'axe longitudinal. L'accès à cette information sans découpe de wafer ou préparation d’échantillons test est un avantage économique important: qualifiez les différents lingots avant de scier et optimisez le processus de cristallisation du silicium Caractéristiques uniques de SBS: • Sensibilité élevée avec des limites < 2 ppma de détection réalisables de l'oxygène • Calibrage de haute qualité directement lié à ASTM/SEMI 1188 • Disponible pour les lingots carrés et cylindrique de différents diamètres • Chemin optique innovant à haute sensibilité avec l'échantillon de référence intégré • Interface utilisateurs intuitive et confortable • Évaluation automatisée des données • Conception conforme aux normes de l'industrie et robuste avec un entraînement linéaire précis • Détecteur infrarouge sans azote liquide