Débitmètre massique thermique GF1 series

massiquepour gazen ligne

Voie d'écoulement de haute pureté. Performances, fiabilité et répétabilité exceptionnelles. Une réponse rapide, une distribution répétée des gaz de procédé avec des niveaux de pureté élevés et ultra-élevés - c'est la performance qu'offre la série GF100 de contrôleurs et de compteurs de débit massique scellés au métal. Conçue pour les semi-conducteurs, les applications MOCVD et autres applications de contrôle de débit de gaz, la série GF100 dépasse la norme de fiabilité de l'industrie des semi-conducteurs, garantissant des performances répétables et très stables dans le temps. La technologie MultiFloTM standard permet à un MFC de prendre en charge des milliers de types de gaz et de combinaisons de gammes sans le retirer de la ligne de gaz ni compromettre la précision. Le résultat : une flexibilité et une efficacité accrues des procédés, combinées aux niveaux les plus élevés de pureté des gaz de procédé de l'industrie, pour aider à maximiser les rendements et la productivité. Caractéristiques - Stabilité à long terme du zéro <±0,5 % de la pleine échelle par an - Temps de stabilisation : 700 ms - <1 seconde - Joint d'étanchéité entièrement métallique : option pour une finition de surface de 4µ ou 10µ pouces Ra - Le capteur Hastelloy® T-Rise résistant à la corrosion améliore la reproductibilité des mesures à des températures élevées - Programmabilité du gaz et de la gamme MultiFloTM - un appareil, des milliers de types de gaz et de combinaisons de gammes sans retirer le MFC de la ligne de gaz ou compromettre la précision - Affichage local - Alimentation en gaz SDS en option - Interfaces DeviceNetTM, RS-485 L-Protocole et analogique Avantages Composants haute performance testés par marathon à sept fois les normes de l'industrie des semi-conducteurs pour la fiabilité Chemin d'écoulement entièrement métallique, résistant à la corrosion, avec une surface réduite et des volumes non balayés, pour un séchage plus rapide lors des étapes de purge