Jauge à vide Pirani BVT200

capacitive à membranenumériqueRS485

Établissez de nouvelles normes avec le transducteur Pirani VersaTorr BVT200/225 Series. Il s'agit d'une solution tout-en-un de mesure de large gamme pour une large sélection d'applications de vide. Il se différencie des autres jauges à vide en offrant une mesure indépendante du gaz d'un bon rapport qualité-prix de 5.0E-3 à 1333 mbar en combinaison avec une mesure jusqu'à 1E-6 mbar en utilisant le principe de la perte de chaleur. Dans les applications sous vide où la composition ou le type de gaz peut changer, les manomètres Pirani traditionnels dépendants du gaz entraînent une déviation de la mesure par rapport à la pression réelle. Le transducteur Tri-Sensor utilise un capteur de précision à diaphragme capacitif (CDG) qui élimine la dépendance au gaz et fournit des mesures précises même lorsque les propriétés du gaz changent. Le capteur Pirani MEMS à perte de chaleur intégré étend la plage de mesure jusqu'à 1E-6 mbar et permet un nouveau réglage automatique du zéro du manomètre capacitif qui élimine les besoins courants de réglage manuel du zéro des manomètres capacitifs à membrane traditionnels. Caractéristiques et avantages Plage de mesure ultra-large de 9 décades Le diaphragme capacitif ajoute une précision accrue à 0,5 % dans la plage de vide faible 6 décennies de mesures indépendantes des gaz de 5E-3 à 1333 mbar Remise à zéro automatique du manomètre capacitif Capteur de température du vide pour le diagnostic Applications Sas de chargement Chambres de transfert Avant-lignes Lignes d'ébauche sous vide Traitement des films minces