Capacimètre CMC

Jauges non chauffées compactes et éprouvées pour une mesure du vide rentable. Les manomètres capacitifs de la série CMC de Brooks Instrument offrent une mesure fiable et précise du vide sur une large gamme de températures de fonctionnement, offrant ainsi une alternative économique aux jauges non chauffées haut de gamme plus grandes. Sa conception compacte et ses performances éprouvées en font une mise à niveau idéale pour les outils existants nécessitant une jauge de petite taille. La conception entièrement soudée et les surfaces en contact avec le fluide Iconel® garantissent un fonctionnement fiable et répétable, même dans les processus les plus agressifs. La combinaison de composants de précision et d'une large plage de fonctionnement compensée en température permet à Brooks d'offrir les meilleurs coefficients de température de zéro et d'échelle de sa catégorie pour une stabilité optimale des mesures Caractéristiques - Disponible pour des gammes de procédés allant de 10 Torr à 1000 Torr - Deux niveaux de précision disponibles : 0.25% ou 0,50% de la lecture (en option) - Performances exceptionnelles sur une large gamme de températures de fonctionnement - 40% plus petit que les manomètres traditionnels à capacité non chauffée - Construction entièrement soudée et surfaces en contact avec le fluide en Inconel® Avantages - L'étalonnage haute précision en option permet d'atteindre la précision des manomètres non chauffés haut de gamme plus coûteux - Coefficients de température de zéro et d'échelle les meilleurs de leur catégorie - Conception peu encombrante permettant d'intégrer le dispositif dans des espaces machine restreints - Répétabilité optimale des mesures par rapport à d'autres conceptions sujettes à des contraintes internes génératrices d'erreurs Applications Fabrication de semi-conducteurs Procédés de dépôt de couches minces - verre, bande et revêtements optiques Lyophilisation de matériaux périssables Revêtements de haute technologie pour les instruments médicaux (instruments chirurgicaux, forets dentaires, etc.)