Contrôleur de pression de gaz PC series

de débitde précision

Précision sous pression. La précision sous contrôle. Les contrôleurs de pression et les compteurs de la série PC100 combinent un grand nombre de caractéristiques technologiques de haute performance pour offrir un nouveau niveau de précision et de fiabilité du contrôle de la pression pour les processus exigeants de fabrication de semi-conducteurs, de dépôt en phase vapeur et autres processus de fabrication ultra-précis. Basée sur la technologie éprouvée du régulateur de débit massique Brooks GF100, la série PC100 est dotée d'un circuit d'écoulement entièrement métallique de haute pureté, d'une technologie de capteur améliorée conçue spécifiquement pour éliminer la dérive du capteur et d'une interface utilisateur et d'une capacité de diagnostic du dispositif qui facilitent l'évaluation et le dépannage du dispositif, ce qui permet de limiter les interruptions de service et de réduire les temps d'arrêt. Caractéristiques - Temps de réponse : <1 seconde - Débit pleine échelle jusqu'à 10 slm - Plage de pression du transducteur : 1000 Torr FS - Trajet d'écoulement avec joint entièrement métallique : finition de surface Ra 5µ inch - Le PC125 avec débitmètre intégré comprend un capteur de débit en Hastelloy® C-22 hautement résistant à la corrosion combiné à un processeur ARM à haute vitesse - Valve sans diaphragme à action rapide - Écran LCD haute visibilité avec bouton poussoir facilement accessible pour l'indication locale du débit, de la température et de l'adresse réseau - Port de diagnostic/service indépendant - Protocole DeviceNet™ Avantages Les composants haute performance permettent une réponse et un temps de réglage rapides pour un meilleur contrôle de la pression Réduction de la consommation de gaz détourné et des coûts de réduction associés Chemin d'écoulement tout en métal, résistant à la corrosion et conforme à la norme SEMI F20, avec une surface globale réduite et des volumes non balayés, pour un séchage plus rapide pendant les étapes de purge La stabilité à long terme du dispositif de capteur thermique ou de pression maximise le rendement et la production