Régulateur de débit massique GF1 series

pour gaz

La vitesse d'EtherCAT® au service de l'innovation Des performances optimisées pour les procédés de fabrication des semi-conducteurs - Les diagnostics intégrés exploitent les capacités d'acquisition de données EtherCAT® en temps réel - Capteur de débit ultra-stable (≤ 0,15 % de dérive de la P.S. par an) permettant une plus grande précision du point de consigne bas et réduisant les besoins de maintenance - L'arrêt amélioré de la vanne (≤ 0,15 % de la plage de la poubelle) réduit les fuites de la vanne afin de réduire les effets de la première galette - L'insensibilité aux transitoires de pression nouvellement améliorée réduit la sensibilité à la diaphonie pour un débit massique constant Caractéristiques - Stabilité du zéro à long terme de <±0,15 % de la pleine échelle par an - Temps de stabilisation : 300 ms - <1 seconde - Joint d'étanchéité entièrement métallique : option pour une finition de surface de 5µ ou 10µ pouces Ra - Le capteur Hastelloy® T-Rise résistant à la corrosion améliore la reproductibilité des mesures à des températures élevées - Programmabilité du gaz et de la gamme MultiFloTM - un appareil, des milliers de types de gaz et de combinaisons de gammes sans retirer le MFC de la ligne de gaz ou compromettre la précision - Un écran utilisateur pratique et un port de diagnostic/service indépendant facilitent l'installation, la surveillance et le dépannage de l'appareil Le GF120 Safe Delivery System (SDS®) est le régulateur de débit massique à faible perte de charge le plus moderne de Brooks pour l'administration des gaz SDS (Safe Delivery System) sub-atmosphériques utilisés dans les processus d'implantation et de gravure