Chemin d'écoulement de grande pureté. Répétabilité, stabilité et temps de réponse supérieurs.
Le modèle SLA7840 de Brooks est un instrument scellé en métal de haute pureté qui contrôle la pression tout en mesurant le débit. Le signal d'un transducteur de pression à distance, associé à une électronique de contrôle PID intégrée réglable et à une vanne de contrôle coplanaire, maintient la pression de consigne souhaitée. La vanne coplanaire réduit la sensibilité aux variations de pression et offre des taux de fuite inférieurs à ceux des autres régulateurs scellés en métal, ce qui garantit un processus plus stable dans le temps.
Caractéristiques
- Transducteur de pression intégré
- Temps de réponse : <1 seconde
- Large gamme de mesure de débit avec des débits pleine échelle de 0 - 3 sccm à 0 - 30,000 sccm
- Pression maximale de 500 psig
- Trajet d'écoulement avec joint entièrement métallique : finition de surface maximale de 32µ inch Ra
- La vanne coplanaire offre des taux de fuite plus faibles
- La fonction multigaz/multigamme permet de stocker et de préprogrammer jusqu'à 10 étalonnages et gammes de gaz sur un seul appareil
- Options de communication DeviceNet® et analogique
Avantages
- La plus grande plage de contrôle de la vanne coplanaire réduit la sensibilité aux variations de pression dans le procédé, garantissant un procédé plus stable dans le temps
- Chemin d'écoulement entièrement métallique pour maintenir des conditions de processus exemptes de particules, d'humidité et de contamination
- L'appareil peut également être configuré comme un contrôleur de débit massique à des fins d'étalonnage ou de test
- La capacité multigaz/multigamme réduit les stocks
- La plus grande plage de contrôle fournie par la vanne coplanaire réduit le nombre de pièces nécessaires pour contrôler le processus
- L'empreinte compacte et peu encombrante est facilement adaptable
La communication numérique facilite la mise en service et réduit le câblage du système
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