Polyvalence pour les applications haute pression dans une large gamme de mesures de débit.
Le contrôleur de pression et débitmètre Brooks modèle 5866RT, scellé en métal ou en élastomère, contrôle la pression tout en mesurant le débit. Le modèle 5866RT reçoit le signal d'un transducteur de pression à distance et, à l'aide d'une électronique de contrôle PID intégrée réglable et d'une vanne de contrôle, il maintient la pression de consigne souhaitée. Avec des options de joints, de surfaces en contact avec le fluide électro-polies et une large gamme de mesures de pression et de débit, le 5866RT fournit des résultats éprouvés dans une large gamme de processus.
Caractéristiques
- Transducteur de pression intégré
- Temps de réponse : <0,8 seconde
- Large gamme de mesure de débit avec des débits pleine échelle de 0 - 3 sccm à 0 - 30,000 sccm
- Joint métallique disponible en option
- Surfaces en contact avec le fluide électro-polies (en option)
- Commande de la vanne activée électriquement
- Convient pour un contrôle en amont ou en aval
- Interface analogique
Avantages
- Suppression du statisme, de l'hystérésis et de l'amplification
- Haute intégrité des fuites
- Contrôle accru de la pression et du débit
- Réglages dynamiques grâce à des commutateurs DIP montés sur le dessus
Applications
Procédés à couches minces
Recherche chimique
Recherche pétrochimique
Laboratoire
Pile à combustible
Sciences de la vie
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