La technologie de vaporisation avancée permet une production de vapeur plus pure et plus efficace.
De nombreux procédés industriels et de semi-conducteurs doivent convertir des liquides, y compris de l'eau et d'autres précurseurs liquides, en vapeurs pures et hautement contrôlées.
La vaporisation est une transition entre la phase liquide et la phase gazeuse. Un vaporisateur est donc un système qui convertit un matériau liquide en un état gazeux. Bien que la vaporisation soit réalisée de différentes manières, tous les vaporisateurs modernes - tels que les vaporisateurs d'eau - ont plusieurs caractéristiques communes:::::::::: :
caractéristiques communes: :
Augmentation de la température et/ou réduction de la pression ambiante du liquide
Systèmes fermés pour capturer et contrôler le flux de vapeur
Utilisation d'un système de boucle de contrôle et de rétroaction pour réguler le taux de vaporisation
APPLICATIONS CLÉS
Vaporisation/humidification de l'eau
Dépôt chimique en phase vapeur
Dépôt de films minces pour améliorer les caractéristiques thermiques, optiques ou de dureté
Vaporisation de monomères pour la disposition de films polymères sous vide
Production de vapeur d'étalonnage
Vaporisation d'hydrocarbures liquides
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