Stabilité à long terme prouvée. Performance ultra-pure pour les applications à haute température.
Offrant des performances de pointe dans la mesure et le contrôle des gaz à haute température, le régulateur de débit massique à étanchéité métallique haute température de la série 5850EMH de Brooks Instrument combine l'étanchéité exceptionnelle des joints métalliques avec une variété d'options permettant une flexibilité d'application maximale. Le cœur de la série 5850EMH est le capteur très stable qui fournit un signal de sortie électrique linéaire avec le débit. Ce signal est utilisé à des fins d'indication, d'enregistrement et/ou de contrôle sans qu'il soit nécessaire d'utiliser un circuit de remise à zéro automatique.
Caractéristiques
- Grande étanchéité (moins de 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He)
- Acier inoxydable VAR 316L de haute pureté
- Sans particules
Orifices de contrôle d'étanchéité à l'hélium
- Vanne normalement fermée (vanne normalement ouverte en option)
- Commande électrique de la vanne
- Coupure en cas de faible débit de commande
- Fonction "valve off" compatible TTL
Avantages
- Plate-forme de produits stable et éprouvée
- Le circuit d'écoulement entièrement métallique améliore la pureté du gaz et réduit les fuites
- Facilité d'installation et d'entretien grâce aux entrées/sorties analogiques uniquement
Applications
Fabrication de fibres optiques - MCVD, OVD, AVD
Contrôle du débit de vapeur d'eau
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