Débitmètre massique thermique 5850EM

massiquepour gazen ligne

Stabilité à long terme éprouvée. Performance ultra-pure pour les applications à haute pression. les régulateurs de débit massique à étanchéité métallique de la série 5850EM mesurent et contrôlent les débits de gaz à haute pression dans des environnements ultra-propres, avec une stabilité éprouvée basée sur les performances des régulateurs de débit massique des séries 5850E et i, largement utilisées. Sa construction métallique étanche et ses surfaces en contact avec le liquide électro-polies garantissent une intégrité exceptionnelle du débit et contribuent à améliorer l'efficacité globale du processus en éliminant le besoin de surveiller et de réajuster en permanence les pressions de gaz pour fournir un débit de gaz stable. Caractéristiques - Stabilité à long terme du zéro <0,2 % de la pleine échelle par an - Temps de stabilisation de <3 secondes pour les changements de commande avec un dépassement et un sous-dépassement négligeables - Finition interne du processus améliorée en option - 5µ pouce Ra en moyenne - Capteur de débit amovible - Insensible à l'attitude de montage - Compatible mécaniquement et électriquement avec d'autres régulateurs de débit massique - Fonction de purge et d'arrêt de la vanne compatible TTL Avantages Le circuit d'écoulement entièrement métallique améliore la pureté du gaz et réduit les fuites Stabilité et précision à long terme prouvées dans une large gamme de procédés et d'applications Excellent retour sur investissement grâce à la fiabilité des performances Le capteur de débit amovible élimine la nécessité d'une surveillance et d'un réajustement continus des pressions de gaz Facilité d'installation et d'entretien grâce aux entrées/sorties analogiques uniquement Applications Fibre optique LED / MOCVD Semi-conducteur Solaire