Débitmètre massique thermique GF 125

à pression différentiellemassiquepour gaz

Une réponse rapide, une distribution répétée des gaz de procédé avec des niveaux de pureté élevés et ultra-élevés - c'est la performance qu'offre la série GF100 de régulateurs et de compteurs de débit massique scellés au métal. Conçue pour les semi-conducteurs, le MOCVD et d'autres applications de contrôle de débit de gaz, la série GF100 dépasse la norme de fiabilité de l'industrie des semi-conducteurs, garantissant des performances répétées et très stables dans le temps. La technologie MultiFloTM standard permet à un MFC de prendre en charge des milliers de types de gaz et de combinaisons de gammes sans le retirer de la ligne de gaz ni compromettre la précision. Le résultat : une flexibilité et une efficacité accrues des procédés, combinées aux niveaux les plus élevés de pureté des gaz de procédé de l'industrie, pour aider à maximiser les rendements et la productivité. Caractéristiques Stabilité à long terme du zéro <±0,5 % de la pleine échelle par an Temps de stabilisation : 300 ms - <700 ms ou 700 ms - <1 seconde Débits à pleine échelle jusqu'à 300 slpm Joint d'étanchéité entièrement métallique : option pour une finition de surface de 4µ ou 10µ pouces Ra Le capteur Hastelloy® T-Rise résistant à la corrosion améliore la reproductibilité des mesures à des températures élevées Programmabilité du gaz et de la gamme MultiFloTM - un appareil, des milliers de types de gaz et de combinaisons de gammes sans retirer le MFC de la ligne de gaz ou compromettre la précision Affichage local Alimentation en gaz SDS en option Interfaces DeviceNetTM, RS-485 L-Protocole et analogique Avantages Composants haute performance testés par marathon à sept fois les normes de l'industrie des semi-conducteurs pour la fiabilité Le circuit d'écoulement entièrement métallique, résistant à la corrosion, avec une surface réduite et des volumes non balayés, assure un séchage plus rapide pendant les étapes de purge Avec MultiFloTM, il est possible de régler de nouveaux gaz de traitement et/ou de nouvelles gammes en moins de 60 secondes - plus besoin de retirer et d'étalonner les appareils