1.Achieve distribuant, film visqueux et collant, placement, gaufrette collante, emballage inversé, GaAs, contrôle de la pression adhésif, haute précision.
la plate-forme de mouvement d'air de l'ultra-précision 2.Use, le système principal X, axe des ordonnées employer un encodeur linéaire à haute résolution avec de la pression nulle, système sans friction complètement de non contact de flotteur d'air, échelle d'encodeur peut atteindre à l'exactitude 0.02um, peut réaliser ultra-rapide, précision, positionnement niveau sous
plate-forme ultra-rapide de sports intégrée par granit d'utilisation de conception de la plate-forme 3.The de forte stabilité, de sorte que T8W en assurant la stabilité thermique et la stabilité mécanique et réaliser l'heure de départ ultra-rapide et +-1,5 um et encore la meilleure exactitude de correction en même temps, afin de répondre aux exigences d'application de haute précision.
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