Débitmètre massique CS300 series

pour liquidesen acier inoxydableRS485

Sevenstar lance la nouvelle génération de MFC CS300 pour la commercialisation des semi-conducteurs. Basé sur la plate-forme technologique CS, le CS300 est la dernière génération conçue spécialement pour les équipements IC à grande échelle. Le CS300 MFC dispose de l'algorithme de compensation de pression basé sur le DF, d'une finition de surface améliorée et d'une spécification conforme à la norme SEMI. L'interface IGS W de 1,125" et l'interface C-seal sont également disponibles. caractéristiques 1. Haute précision et réponse rapide la précision du CS300 MFC a été améliorée à ±0,8 % de la P.S., et les modèles les plus avancés ont un temps de réponse inférieur à 0,5 seconde. 2. Faible dérive du zéro et faible coefficient de température l'invention d'une nouvelle technologie de capteur permet au CS230 MFC de conserver sa stabilité et de résister aux fluctuations de température. Sans amplificateur de zéro automatique, la dérive du zéro attendue est inférieure à 0,6 %F.S./an, et le coefficient de température est inférieur à 0,02 %F.S./℃(zéro)，0,05 %F.S./ ℃ (plage). 3. Modèles à scellement métallique et caractéristiques de haute pureté le processus spécial de surface métallique est appliqué au CS300. l'acier inoxydable 316 VV est utilisé et la rugosité peut être inférieure à 5 RA, ce qui est exigé par les semi-normes. 4. Interfaces compatibles le CS300 MFC est compatible avec les interfaces suivantes, qui peuvent être sélectionnées par le client : alimentation double ±8V-±16V et alimentation simple +14V-+28V ; entrée et sortie de signaux numériques ou analogiques ; dimensions mécaniques standard SEMI ; et module de communication RS-485 ou DeviceNetTM. 5. Fonctions diverses un logiciel client puissant est fourni en standard avec chaque modèle, tandis que des fonctions supplémentaires telles que multi-gaz，multi-gamme，auto-zéro, alarmes, démarrage progressif et retard sont disponibles au choix du client.