Les MFC CS200 dotés d'un capteur avancé et d'une technologie de compensation de la température peuvent atteindre une précision de ±1%S.P. et un faible coefficient de température. En outre, les MFC CS200 dotés d'un système de contrôle avancé ont un temps de réponse moyen de 800 ms pour tous les changements de point de consigne, ce qui minimise les erreurs du système dans le processus.
Caractéristiques
1. Haute précision et réponse rapide
la précision du CS200 MFC a été améliorée à ±1,0 % de la P.S., et les modèles les plus avancés ont un temps de réponse réduit de moins de 0,8 sec.
2. Faible dérive du zéro et faible coefficient de température
l'invention d'une nouvelle technologie de capteur permet au CS200 MFC de conserver sa stabilité et de résister aux fluctuations de température. Sans amplificateur de zéro automatique, la dérive du zéro prévue est inférieure à 0,6 %F.S./an, et le coefficient de température est inférieur à 0,02 %F.S./℃(zéro),0,05 %F.S./ ℃ (plage).
3. Modèles à scellement métallique et caractéristiques de haute pureté
la voie d'écoulement en contact avec le liquide du CS200 MFC est construite en acier inoxydable passivé en surface. Tous les MFC CS200 sont assemblés dans les salles blanches ultra-propres de classe 100 de Sevenstar, conformément aux normes SEMI et ISO 9001.
4. Interfaces compatibles
le CS200 MFC est compatible avec les interfaces suivantes, qui peuvent être sélectionnées par le client : alimentation électrique à double extrémité ±8V-±16V et alimentation électrique à simple extrémité +14V-+28V ; entrée et sortie de signaux numériques ou analogiques ; dimensions mécaniques standard SEMI ; et module de communication RS-485 ou DeviceNet.
5. Fonctions diverses
un logiciel client puissant est fourni en standard avec chaque modèle, tandis que des fonctions supplémentaires telles que multi-gaz,multi-gamme,auto-zéro, alarmes, démarrage progressif et retard sont disponibles au choix du client.
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