Cette machine est une machine de nettoyage de plaquettes entièrement automatique, actionnée automatiquement par un manipulateur dans un environnement fermé, elle possède des fonctions de nettoyage et de séchage. Elle convient au nettoyage de divers matériaux de substrat semi-conducteurs après le polissage, et peut réduire efficacement la contamination par des particules sur la surface des plaquettes.
Des fonctions complètes
Avec la fonction de nettoyage et de séchage, actionnée par un manipulateur dans un environnement fermé, faible risque, prévention de la pollution secondaire.
Fonctionnement simple
Contrôle par écran tactile PLC, le manipulateur réalise automatiquement le processus de nettoyage des wafers de cassette à cassette.
Bonne compatibilité
Compatible avec les gaufrettes de 2, 4 et 6 pouces
Faible encombrement au sol
Réduit au minimum l'espace au sol dans la salle blanche.
---