Machine de polissage pour métaux POLI-500

semi-automatiquede précisionà table rotative

POLI-500 est une petite machine de polissage chimico-mécanique de 8 pouces, qui adopte une méthode de chargement manuel, peut être équipée en option d'une palette de chargement semi-automatique, utilise un airbag à membrane pour augmenter la pression de manière flexible, et peut être équipée d'un système de contrôle de la force de friction et de la température, utilisé pour le polissage de planarisation des oxydes, métaux, STI, SOI, MEMS et autres produits. Les applications sont vastes. Fonctions complètes Le plateau de polissage est équipé d'un système de refroidissement intégré, d'un dresseur à bras oscillant et d'une fonction de surveillance de la force de friction et de la température en option. Opération simple Système de contrôle PC, contrôle par écran tactile, chargement semi-automatique de la palette en option, polissage CMP automatique par un seul bouton. Bonne compatibilité 3 pipelines d'alimentation indépendants, plaque de polissage facile à remplacer, tête de polissage remplaçable de 4, 6 et 8 pouces, compatible avec différents types et tailles de plaquettes. Faible encombrement au sol Réduit au minimum l'espace au sol de la salle blanche.