Machine de polissage pour métaux POLI-400L

de précisionà table rotativeà petite échelle

POLI-400L est une machine de polissage chimico-mécanique de petite taille pour 4&6 pouces, qui adopte une méthode de chargement manuel, utilise un airbag à membrane pour augmenter la pression de manière flexible, et peut être équipée d'un système de contrôle de la force de friction et de la température. Elle est utilisée pour le polissage de planarisation des oxydes, métaux, STI, SOI, MEMS et autres produits. Les applications sont vastes. Fonctions complètes Mise en place d'une contre-pression de la membrane sur le wafer, le plateau de polissage est équipé d'un système de refroidissement intégré, d'un dresseur à bras oscillant et d'un système de surveillance de la force de friction et de la température en option Opération simple Système de contrôle PC, contrôle par écran tactile, chargement manuel, polissage CMP automatique par un seul bouton. Bonne compatibilité 3 conduites indépendantes d'alimentation en boue, plaque de polissage facile à remplacer, tête de polissage remplaçable de 4 ou 6 pouces, compatible avec différents types et tailles de plaquettes. Faible encombrement au sol Réduit au minimum l'espace au sol de la salle blanche.