Ces machines de série sont des machines de polissage de haute précision, à quatre axes et à une seule face. Elles peuvent être équipées de plaques de cuivre, d'étain, d'acier inoxydable, etc. Elles conviennent au polissage de haute précision de divers matériaux semi-conducteurs pour répondre aux besoins de l'industrialisation à grande échelle.
Utilise un cylindre d'air pour la pressurisation, contrôle précis de la pression
Entraînement actif de la tête de polissage
Système de contrôle de la température de la plaque de polissage
Interface d'opération de conversation homme-machine, fonctions complètes et opération facile
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