Capteur de débit massique thermique TFSC100

massiqued'air

Le modèle TFSC100 de puce de capteur de débit thermique est conçu pour la fabrication de capteurs de débit (par exemple, les capteurs de débit TFS2100 de BCM SENSOR). Comme la puce TFSC100 ne comporte aucune pièce mobile, elle convient à la mesure de faibles débits d'air ou de gaz et peut fournir des signaux stables et fiables aux capteurs de débit. La mesure du débit par cette puce est réalisée grâce à un pont thermique composé de quatre résistances thermiques formant un circuit complet en pont de Wheatstone. Ces résistances thermiques sont fabriquées à partir d'un film de platine sur la puce par le biais d'un processus MEMS. Sur la base d'une conception spécifique du circuit de mesure, les caractéristiques des deux résistances thermiques éloignées de l'élément chauffant sont les mêmes que celles des deux autres situées à proximité de l'élément chauffant. Cela permet à la puce du capteur de débit TFSC100 de fonctionner comme une puce de capteur linéaire. Pour comprendre le fonctionnement de ce capteur, il est recommandé de se référer aux deux schémas de la section Principe de fonctionnement de cette fiche technique. Bien que les fils d'or et d'aluminium puissent être utilisés pour le câblage, les fils d'or sont plus recommandés. En effet, les fils d'or peuvent conférer à cette puce de capteur une plus grande stabilité et une plus grande résistance à la corrosion et à l'humidité lorsque cette puce de capteur mesure le débit du fluide. Afin de protéger cette puce de capteur, une couche de passivation est appliquée sur la surface supérieure de la puce TFSC100, ce qui lui confère une résistance aux poussières et à l'humidité.