Plaque chauffante de soudure

en céramiquede précisionrefroidissante

Les plaques chauffantes céramiques en nitrure de silicium peuvent être produites avec un diamètre extérieur de 400 mm. Dans les limites de ce diamètre, toutes les formes rectangulaires, les formes personnalisées et les ouvertures sont possibles. La hauteur typique des plaques est de 5 mm et, avec un canal de refroidissement intégré, d'environ 15 mm. Les propriétés particulières et la faible masse du matériau céramique permettent des taux de chauffage rapides, une distribution uniforme de la température et une précision de contrôle exceptionnelle. Par rapport au métal, la surface de la céramique reste plate en raison de sa faible dilatation thermique, même en cas de variations rapides de la température. La grande solidité du nitrure de silicium pressé à chaud garantit une résistance élevée aux contraintes (par exemple avec des charges de pression élevées) et une excellente résistance à l'usure. Les plaques chauffantes conviennent parfaitement aux processus exigeants des systèmes de traitement des semi-conducteurs. Conception personnalisée Grâce à nos conceptions internes, toute modification de la taille, de la configuration ou des performances est simple et pratique. Des trous de fixation et des alésages pour les capteurs de température peuvent être ajoutés à la conception. Des rainures de vide découpées au laser peuvent également être ajoutées. Nos plaques chauffantes sont déjà rectifiées à plat, mais elles peuvent être rectifiées davantage jusqu'à une planéité de < 10 μm pour répondre à des exigences spécifiques. En outre, notre conducteur de chauffe en céramique, avec sa conception personnalisée, permet d'intégrer plusieurs zones de chauffe. Des dispositifs de compensation de la perte de chaleur et un fil d'essai interne pour la mesure de la température peuvent être facilement intégrés. Pour le fonctionnement sous vide poussé jusqu'à 1 000 °C, un contact à broche peut être fourni. Dans plusieurs projets de clients, nous avons intégré une fonction de refroidissement qui peut être produite par un module de refroidissement avec des canaux intégrés.