Les chauffe-puces en nitrure de silicium sont généralement rectangulaires. Différentes dimensions et tailles de lots peuvent être produites jusqu'à notre diamètre de matrice de 400 mm. Les propriétés particulières et la faible masse de la céramique permettent des taux de chauffage rapides, une distribution uniforme de la température et une grande précision de contrôle. Les petits éléments chauffants peuvent être commandés avec une puissance de surface très élevée et des temps de cycle courts. Par rapport au métal, la surface de la céramique reste très lisse en raison de sa faible dilatation thermique, même lorsqu'elle est soumise à des variations de température. La grande solidité du nitrure de silicium pressé à chaud garantit une résistance élevée aux contraintes (par exemple avec des charges de pression élevées) et une excellente résistance à l'usure. Nous proposons des appareils de chauffage miniatures pour un fonctionnement à l'air libre à des températures allant jusqu'à 500 °C et des appareils de chauffage avec une zone froide à des températures allant jusqu'à 1 000 °C.
Conception personnalisée
Grâce à nos conceptions internes, toute modification de la taille, de la configuration ou des performances est simple et pratique. Des trous de fixation et des alésages pour les sondes de température ou les tuyaux d'aspiration peuvent être inclus. Des rainures de vide découpées au laser peuvent également être ajoutées. Nos chauffe-puces sont déjà rectifiés à plat, mais ils peuvent être rectifiés davantage jusqu'à une planéité de < 10 μm pour répondre à des exigences spécifiques. Diverses formes adaptées au contour de l'élément à chauffer sont également possibles. Elles peuvent être produites sous forme de points (réchauffeurs ponctuels) ou de plats en saillie. Il est ainsi possible d'obtenir des surfaces chauffées d'une taille inférieure à 1 mm2. Les chauffages miniatures peuvent être convertis pour fonctionner en basse tension
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