Jauge à vide capacitive à membrane SPG

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Le SPG5A-6A est un vacuomètre à membrane capacitive qui utilise un capteur de pression capacitif en saphir pour obtenir une grande précision et fiabilité, une taille compacte et un poids léger. Des modèles auto-chauffants et non auto-chauffants sont disponibles. Le SPG5A/6A est particulièrement adapté à la fabrication de semi-conducteurs. Caractéristiques * - Utilise un saphir monocristallin pour une excellente résistance à la corrosion et aux températures élevées Le saphir monocristallin hautement résistant à la corrosion et à la chaleur pour les capteurs de pression possède également d'excellentes caractéristiques mécaniques. La mesure capacitive a une grande répétabilité même lorsqu'elle est utilisée à haute température * - Une mesure très précise La technologie avancée de traitement des signaux contribue à l'obtention d'excellentes caractéristiques de température et à la linéarité des mesures * - Compact et léger Petite taille et poids léger, grâce à la technologie de micro-usinage * - Temps de préchauffage rapide et contrôle stable de la température du capteur Le contrôle PID numérique par microprocesseur permet un réchauffement rapide et une température stable des capteurs (modèles auto-chauffants).