Les capteurs de débit massique d'air de la série MCS100 sont adaptés à la mesure du débit d'air dans divers types d'équipements de sciences physiques ainsi qu'à la confirmation de l'aspiration sous vide de minuscules pièces électroniques.
Caractéristiques
* - Réponse à grande vitesse de 5 ms par un capteur de débit massique de la technologie originale d'Azbil
* - Un différentiel de sortie plus important peut être obtenu entre les conditions de captage et de non- captage en comparant avec un capteur de pression standard
* - Compact et léger, le capteur de débit peut être installé n'importe où, même juste au-dessus de la buse (montage direct sur le tube d'air entre la buse et l'éjecteur), ce qui permet une réponse élevée pour la détection de la prise
* - La détection précise est assurée par le système unique de mesure du débit du MCS qui n'est pas influencé par les fluctuations de la pression d'aspiration comme le sont les capteurs de pression
* - Une commande à configuration unique est possible côté contrôleur grâce à un signal de sortie analogique, même si la buse de captage est changée. Le colmatage du filtre ou la déformation de la buse peuvent être détectés avec le débit à l'état non capté
* - Le ramassage et le retour de la puce dans le processus de montage peuvent être détectés car le flux dans les deux sens peut être détecté
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