Débitmètre massique thermique CMS

massiquepour gazen ligne

Débitmètres de gaz à haute performance et à grande portée. Description La série CMS de débitmètres massiques de gaz utilise notre capteur de débit thermique propriétaire comme élément de détection. Grâce à l'intégration de ce capteur de débit massique ultraminiature, qui est fabriqué à l'aide d'une technologie de micro-usinage et d'une conception de canal ultrafine avancée, un niveau de précision élevé et une large gamme de mesures sans précédent ont été atteints à faible coût. Ces débitmètres, qui se distinguent par leur facilité d'utilisation et leur grande fiabilité, constitueront la norme pour l'avenir. Fabriqué par micro-usinage du silicium et par des technologies de couches minces, ce débitmètre de type thermique ne mesure que 1,7 mm² et 0,5 mm d'épaisseur. L'utilisation d'une technologie d'usinage ultra-précise minimise les variations dans la disposition des éléments et la capacité thermique. Une haute résolution de 1 mm/s en vitesse d'écoulement et une réponse rapide d'environ 2 ms sont obtenues au niveau de la puce du capteur. En l'absence de flux de gaz, la répartition de la température autour du chauffage est symétrique. Lorsque le gaz commence à circuler de Ru à Rd, la température à Ru en amont commence à diminuer, tandis que la température à Rd en aval augmente, ce qui entraîne une distorsion de la symétrie de la distribution de la température. Cette différence de température entre Ru et Rd est utilisée pour calculer la vitesse de la masse (vitesse x densité).