Avec les mêmes optiques que le M12/F40, la tête de capteur M15.5/F40/FLEX peut également être utilisée pour mesurer des vibrations ou des déformations de matériaux sur différentes surfaces. Il est en outre équipé d'une structure flexible pour faciliter l'alignement de la tête du capteur : la tête peut être inclinée d'un angle de 1°. Le kit de capteur pour conditions ambiantes comprend une fibre de verre (longueur : 5 m) pour le raccordement de la tête du capteur au contrôleur de l'interféromètre. En fonction de l'option environnementale choisie, une fibre supplémentaire pour connecter la tête de capteur in-situ est également incluse (/LT/HV, /RAD, /UHV).
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