positionneur de pas linéaire, vertical, et compact avec la gamme prolongée de voyage
L'ANPz51 fournit le z-positionnement de haute résolution et aussi bien que de forte stabilité sur une gamme prolongée de voyage de 6 millimètres. Combiné avec deux positionneurs ANPx51, une unité de XYZ-positionnement souple pour différentes applications 3D nanopositioning est créée.
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