Les filtres à capsule CNE sont des assemblages de capsules compactes. Ils sont conçus pour la filtration du révélateur, de l'agent de gravure et de l'eau DI dans les processus actuels de fabrication des semi-conducteurs, ainsi que pour la filtration de produits chimiques en petites quantités.
Caractéristiques et avantages
● Construction compacte et robuste
● Résistance à la haute pression
● Faible volume de rétention
● Conception sans joint torique
● Conception jetable, remplacement facile
Qualité
● Capsules produites dans un environnement contrôlé
● Fabriquées conformément au système de gestion de la qualité certifié ISO9001
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