Les cathodes de pulvérisation magnétron RF à haute puissance peuvent être mises en œuvre avec succès dans les applications de R&D et de production, à condition que des critères de conception spécifiques soient incorporés dans la construction.
Les magnétrons RF circulaires de haute puissance sont directement refroidis et disponibles dans des diamètres extérieurs de 2″ à 8″.
Parce que la puissance RF fonctionne à une fréquence élevée, il est vital que la cathode de pulvérisation magnétron soit conçue pour réintégrer cette puissance. Les magnétrons RF haute puissance d'Angstrom Sciences sont conçus pour délivrer l'énergie RF uniformément sur la surface de la cible tout en fournissant une faible puissance réfléchie et un confinement RF.
Les magnétrons RF haute puissance sont disponibles en configurations circulaire et linéaire.
---