Cible de pulvérisation tungstène

Angstrom Sciences offre une gamme complète de magnétrons UHV, y compris notre "ONYX- UHV" qui comporte des joints entièrement métalliques, des isolateurs en céramique et des réseaux d'aimants démontables. La construction entièrement soudée permet une cuisson à 450ºC. La cathode circulaire "ONYX- UHV" est disponible pour des diamètres de cible de 1″ (25mm) à 16″ (400mm) et est compatible avec tous les accessoires, jeux d'aimants et caractéristiques que l'on trouve dans les cathodes standard ONYX pour le vide poussé. Les cathodes linéaires ONYX-UHV sont également disponibles dans des tailles de cibles personnalisées pour répondre à toutes les exigences des applications. Sont également disponibles les "ONYX- HT" (une variante haute température de la cathode ONYX standard avec des isolateurs entièrement en céramique pour un fonctionnement à haute température qui offre des performances "proches" de l'UHV). Ces magnétrons sont compatibles avec les alimentations DC, RF, DC pulsé et HiPIMS. Une gamme complète d'options est également proposée, notamment des longueurs d'insertion, des obturateurs, des entrées de gaz et des écrans de protection contre la contamination croisée.