Magnétron

Dans la pulvérisation cathodique, il n'y a pas d'utilisation d'aimants et donc pas de champ magnétique pour contenir le plasma. Cela signifie que les ions du plasma circulent librement dans le système de vide et érodent la quasi-totalité de la surface de la cible, ce qui augmente l'utilisation de la cible. Cependant, cela signifie également que les particules de film pulvérisé sont libres de se déplacer dans la chambre, et non pas directement sur le substrat. Cela peut augmenter considérablement la durée du processus et, comme il n'y a pas de confinement des électrons, le substrat subit une chaleur plus importante. Angstrom Sciences fournit des diodes pour toutes les tailles de cathodes.