Magnétron circulaire

Pour les applications qui exigent que le substrat soit exposé à des périodes prolongées d'exposition thermique élevée, les magnétrons circulaires à haute température d'Angstrom Sciences sont optimisés avec des isolateurs en céramique et des joints sous vide qui permettent à la cathode de maintenir les paramètres de performance dans des conditions de chaleur élevée. Des modèles à haute température sont disponibles pour fonctionner à 200, 300 et 450 degrés Celsius. Les magnétrons circulaires à haute température sont conçus pour des pressions de base de l'ordre de 10-9 mTorr et sont spécialement conçus pour permettre les variations qui peuvent se produire au cours du cycle thermique sans fuites ni déviation de la qualité du film.