Magnétron pulsé

circulaire

Les magnétrons à refroidissement indirect comportent une paroi intermédiaire entre l'eau de refroidissement de la cathode circulaire et la cible de pulvérisation. Cette paroi crée un joint permanent entre l'eau et le vide, évitant ainsi les fuites qui pourraient se produire si une cible était "pulvérisée" Les magnétrons circulaires à refroidissement indirect d'Angstrom Sciences de 1″ à 4″ (25 mm à 100 mm) intègrent une pince de cible filetée et un bouclier anodique qui s'adaptent à des cibles de pulvérisation d'épaisseurs variables. Les changements de cible sur le modèle fileté sont rapides et faciles, ne nécessitant pas d'outils ou de dispositifs auxiliaires. En outre, la pince filetée et le bouclier anodique créent une tête de magnétron circulaire compacte. Cela permet aux magnétrons circulaires d'Angstrom Sciences de s'adapter aux chambres à vide confinées et de pulvériser un substrat plus grand par rapport à sa surface que les magnétrons conventionnels. Les magnétrons à refroidissement indirect sont recommandés pour les applications à faible puissance et constituent un choix idéal pour les applications de recherche et de développement. Pour plus d'informations sur les magnétrons à refroidissement indirect, appelez-nous au 412-469-8466 ou contactez-nous en ligne.