Magnétron rotatif

sur mesurecirculaire

Les magnétrons rotatifs sont des variantes d'un magnétron circulaire dans lequel le jeu d'aimants tourne mécaniquement autour d'un axe central. Ce type de magnétron, développé à l'origine pour des applications dans le domaine des semi-conducteurs, permet de revêtir uniformément un substrat stationnaire avec un diamètre de cathode le plus petit possible. D'autres applications de cette technologie incluent des situations où le matériau redéposé sur la face de la cible génère des défauts dans le film en croissance ; dans un magnétron rotatif, la totalité de la face de la cible est balayée par un ensemble d'aimants tournant entre 20 et 600 tours par minute. Angstrom Sciences propose une gamme de magnétrons rotatifs, de 4″ (100mm) à 16″ (406mm) de diamètre, et sont conçus avec une configuration d'aimant ajustable permettant l'optimisation du processus et l'amélioration de l'uniformité. Nos magnétrons peuvent être montés dans des configurations internes ou externes. Un magnétron rotatif offre une excellente uniformité sans déplacement du substrat. Combiné à l'érosion sur toute la surface, il permet de réduire considérablement les défauts dus à la contamination par les particules. Ces magnétrons peuvent également être intégrés dans des machines dont l'espace est limité, ce qui accroît la flexibilité de votre application.