Les régulateurs de débit de procédé sont des régulateurs de gaz de procédé en boucle fermée à grande vitesse, conçus pour le contrôle de précision en temps réel et in situ des procédés de revêtement sous vide et de traitement au plasma basés sur la pulvérisation réactive. Ce sont des solutions complètes, compactes, flexibles, pratiques à utiliser et économiques qui peuvent être facilement intégrées dans des systèmes nouveaux ou existants. Aussi bien adaptés aux outils de production qu'aux outils de R&D, les régulateurs de flux de processus peuvent apporter des améliorations démontrables à la stabilité, à la répétabilité et au rendement des processus. Une large gamme d'accessoires est disponible, y compris des capteurs spécialement conçus pour les applications de pulvérisation HIPMS.
Le contrôle des processus est essentiel dans les applications industrielles du plasma pour garantir la fiabilité et la haute qualité du processus. La spectroscopie d'émission optique (OES) est une technique de premier choix car elle n'affecte pas le plasma et permet de surveiller en temps réel plusieurs espèces plasmatiques. Nos systèmes PLASUS EMICON sont dotés de toutes les fonctions dont vous avez besoin pour analyser, optimiser et contrôler votre application plasma.
PLASUS est l'un des principaux fabricants de systèmes de surveillance spectroscopique des plasmas. Fondée il y a 20 ans, notre compétence principale est le développement de systèmes de contrôle de processus clés en main pour l'industrie et les applications de recherche et de développement. Nos systèmes sont utilisés pour la surveillance des plasmas, le contrôle et l'optimisation des processus, le contrôle de la qualité et l'analyse spectroscopique des plasmas.
Profitez de nos nombreuses années d'expérience et de notre savoir-faire industriel de pointe - nous sommes à votre service et vous conseillons de manière exhaustive pour votre application !
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