Magnétron pulsé

sur mesurecirculaire

Les magnétrons circulaires d'Angstrom Sciences sont reconnus comme la norme de l'industrie de la pulvérisation cathodique en raison de l'Angstrom Advantage™ et d'une foule d'autres caractéristiques de conception qui offrent des possibilités presque illimitées en matière de configuration et de performance du processus. Leur conception compacte rend nos magnétrons circulaires idéaux pour toute application nouvelle ou de modernisation, y compris les assemblages de grappes les plus complexes pour les chambres à vide les plus petites. Les têtes à faible impédance assurent la compatibilité avec la RF, la DC, la DC à moyenne fréquence, la DC pulsée, la HiPIMS et la puissance des micro-ondes. Nous utilisons des raccords normalisés ISO NW, ainsi que des brides à joint métallique Conflat®. Toutes les utilités sont maintenues à l'atmosphère et sont accessibles par des raccords de compression à joint torique standard pour une installation facile dans n'importe quel système à vide. Les sources magnétron circulaires sont disponibles à partir de 1″ (25mm) jusqu'à 16″ (406mm) et des diamètres de cible plus importants dans des configurations standard ou personnalisées. Notre pince filetée brevetée et le blindage de l'anode sur nos petites cathodes circulaires vous permettent de changer de cible sans utiliser d'outils auxiliaires. Leur capacité de réglage intégrée vous permet également d'adapter des cibles d'épaisseur variable sans utiliser de dispositifs d'espacement. Les magnétrons ONYX® peuvent fonctionner à des pressions extrêmement basses (jusqu'à 10-4 Torr), et nos modèles à refroidissement direct peuvent fournir des densités de puissance allant jusqu'à 250 watts/in2 (30 watts/cm2) en fonctionnement continu.