Magnétron rotatif

cylindrique

Des ensembles complets à montage latéral ou intégré sont disponibles avec des tubes de 3″ (75 mm) ou 5″ (125 mm) de longueur jusqu'à quatre mètres et avec un espacement minimum entre les sources, des réseaux multiples en ligne sont disponibles pour les systèmes de production compacts à haut débit. L'ONYX-Revolution™ utilise un aimant universel et rentable avec des délais d'exécution personnalisés pour s'adapter à n'importe quel type de cible. De plus, il est conçu avec des composants disponibles sur étagère pour un faible coût, un investissement à long terme et une grande fiabilité. La technologie brevetée de l'aimant profilé d'Angstrom Sciences crée un profil de dépôt plus proche de la normale entre la source et le substrat. Le profil de dépôt amélioré permet de réduire l'accumulation de débris sur les parois de la chambre. En outre, le réseau d'aimants d'Angstrom Sciences offre une intensité de champ magnétique plus élevée, ce qui permet à l'utilisateur de faire fonctionner le processus de pulvérisation à une puissance plus faible pour atteindre les taux de dépôt typiques. De manière inhérente, les magnétrons cylindriques peuvent contenir jusqu'à trois fois la quantité de matériau cible qu'un magnétron planaire avec la même surface spatiale. L'ONYX-Revolution™ d'Angstrom Sciences optimise encore l'investissement en matériau avec une utilisation de la cible pouvant aller jusqu'à 85%. De plus, le fonctionnement à des niveaux de puissance inférieurs permet une économie d'énergie typique de 20 %.