Le logiciel d'ellipsomètre spectroscopique PHE dispose d'une bibliothèque de modèles et de films avec des paramètres de mesure prédéterminés, qui permettent à l'opérateur de sélectionner une application et d'exécuter rapidement une mesure. La bibliothèque comprend plusieurs centaines de modèles différents. Le logiciel convivial PHE Spectroscopic permet à l'utilisateur de mesurer et d'analyser de multiples couches de matériaux et des structures complexes de couches minces avec des couches mixtes, des couches d'interface et bien plus encore. Le logiciel de pointe dispose de plusieurs centaines de modèles de matériaux. L'ellipsomètre PHE-102 comprend tout le matériel et les logiciels nécessaires à l'acquisition et à l'analyse de toutes les données échantillons. De plus, le logiciel de l'ellipsomètre PHE-103 est le programme le plus complet disponible pour l'acquisition et l'analyse de données. Il combine des algorithmes d'ajustement mathématique de pointe avec un large choix d'options de modélisation pour une analyse rapide et précise des données. Un logiciel d'ellipsométrie spectroscopique avancé .
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