Débitmètre massique thermique PFLOW10U-2210

massiquepour airpour eau

PFLOW : OEM MEMS capteurs de débit massique d'air pour applications médicales et de contrôle de processus Avec une grande résistance au colmatage et aux chocs de pression PEWATRON a lancé le nouveau capteur de débit massique d'air PFLOW qui intègre les dernières innovations en matière de MEMS et de microélectronique. Le capteur PFLOW a une très haute résistance au colmatage et aux chocs de pression. Grâce à la conception innovante de l'isolation thermique des MEMS, il n'est pas nécessaire d'utiliser des membranes fines fragiles ou des cavités de surface pour l'isolation thermique. Le capteur a une très haute sensibilité aux faibles débits et est donc parfaitement adapté aux applications médicales et avancées dans l'industrie des procédés. La matrice de détection de débit est constituée de deux thermopiles placées symétriquement en amont et en aval d'un élément chauffant qui chauffe les jonctions chaudes. Chaque thermopile est composée de 20 thermocouples en série pour révéler le plus haut niveau de sensibilité. Lors du passage d'un flux sur la filière, les thermopiles génèrent une tension de sortie proportionnelle au gradient de température (asymétrique) entre la jonction chaude et la jonction froide par effet Seebeck. Si le fluide est statique (pas de débit), le profil de température des deux - en amont et en aval - est symétrique. Cinq gammes de mesure standard sont proposées de 0...10 SCCM à 0...2000 SCCM, ainsi que des gammes spécifiques aux clients entre 10 et 2000 SCCM. La précision est meilleure que +/-2,0% FS, et la sortie analogique compensée en température (0...50°C) est très linéaire avec le débit. La sortie de tension analogique est comprise entre 1 et 5 VDC, et le capteur est résistant à la condensation de l'eau. Le temps de réponse est très rapide, et environ 1-3 ms.