Four tubulaire IWQ

de fusionà gazsous vide

L'induction de l'IWQ d'ALD a chauffé des fours de tube de quartz ont trouvé beaucoup d'applications lorsque spécialisés, des processus à hautes températures doivent être isolés dans les éléments de chauffe. Les matériaux ont chauffé dans un four d'IWQ ont un niveau élevé de pureté puisqu'il n'y a aucune interaction chimique entre la source de chauffage par induction et le matériel étant traités. Les systèmes d'IWQ sont disponibles dans un large éventail de tailles diamètre de tube de jusqu'à 1 mètre et le ‑ 2 dosent la longue chambre de processus. De l'énergie est couplée dans la matière de base par l'intermédiaire d'un susceptor ou directement par l'intermédiaire du porteur de charge. L'induction a chauffé, four de tube de quartz peut adapter aux atmosphères commandées telles que la réduction (hydrogène), l'oxydation, le gaz inerte et le vide aussi bien que se protéger contre les vapeurs et les produits chimiques agressifs aux températures jusqu'à 2000 °C. Les fours d'IWQ offrent également un niveau élevé d'uniformité axiale et radiale de la température.