Nos platines rotatives à coussin d'air de la série ABRT offrent des performances supérieures en matière de positionnement angulaire, de stabilité de la vitesse et de mouvement d'erreur, ainsi qu'une capacité de charge impressionnante et une rigidité radiale et axiale remarquable. L'ABRT est conçu pour répondre aux exigences rigoureuses de l'inspection des plaquettes de silicium, des applications de métrologie de haute précision, des systèmes de diffraction des rayons X, de l'inspection et de la fabrication optiques et de la fabrication de dispositifs MEMS/nanotechnologiques.
-Moteur zéro-cogging pour une stabilité de vitesse exceptionnelle
-Performances exceptionnelles en matière de mouvement d'erreur et d'oscillation
-Codeur rotatif de haute précision à couplage direct
-Grand diamètre d'ouverture
-Pas de contact mécanique
Conception mécanique supérieure
La conception de l'ABRT comporte de grandes surfaces de coussin d'air et un préchargement innovant pour une rigidité et une capacité de charge élevées, produisant non seulement d'excellents mouvements d'erreur axiaux et radiaux, mais aussi d'excellents mouvements d'erreur d'inclinaison. Les performances obtenues sont nettement supérieures à celles des autres tables et broches rotatives à coussin d'air, ce qui profite grandement aux applications nécessitant des performances planaires exceptionnelles. En outre, cette famille de platines offre une ouverture claire qui peut être utilisée pour le passage de produits, l'acheminement de faisceaux laser, le passage de câbles ou d'autres exigences spécifiques à l'application.
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