Nos platines rotatives à coussin d'air de la série ABRS offrent des performances supérieures en matière de positionnement angulaire, de stabilité de la vitesse et de mouvement d'erreur dans un boîtier exceptionnellement bas. L'ABRS est conçu pour répondre aux exigences rigoureuses de l'inspection des plaquettes de silicium, de la métrologie de haute précision, des systèmes de diffraction des rayons X, de l'inspection et de la fabrication optiques et de la fabrication de dispositifs MEMS/nanotechnologiques.
-Moteur zéro cogging pour une stabilité de vitesse exceptionnelle
-Performances exceptionnelles en matière de mouvement d'erreur et d'oscillation
-Conception planaire à faible profil
-Pas de contact mécanique
La conception de la platine rotative à entraînement direct de la série ABRS a été optimisée pour minimiser la hauteur de la platine. Le profil bas de la platine réduit la hauteur de travail effective du système, minimisant ainsi les erreurs liées à l'empilement. En plus de la faible hauteur totale, la série ABRS offre une ouverture claire qui peut être utilisée pour le passage des produits, l'acheminement du faisceau laser, le passage des câbles ou des exigences spécifiques à l'application.
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